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硅片清洗劑,硅片質(zhì)量的保障

返回列表 來源: 發(fā)布日期: 2022.03.04

硅片清洗劑一般用于去除硅片表面的各種污垢,效果十分顯著。那大家真的了解硅片清洗劑嗎?今天小編就來給大家介紹一下有關(guān)硅片清洗劑的一些知識。

硅片清洗劑

希爾硅片清洗劑是針對性去除硅片表面的顆粒、有機(jī)物、金屬離子等污染物的水基清洗劑,清洗劑中的活性物質(zhì)可以吸附在硅片表面,使其長期處于易清洗的物理吸附狀態(tài),并在表面形成保護(hù)層,防止顆粒的二次吸附,能有效提高外延或擴(kuò)散工序的成品率。

希爾硅片清洗劑一般是透明或者微黃色的液體產(chǎn)品,PH值一般在7——9之間。

希爾硅片清洗劑可應(yīng)用領(lǐng)域:用于半導(dǎo)體硅片器件、薄膜技術(shù)中的玻璃和金屬表面浸漬、噴淋、超聲波的清洗。

希爾硅片清洗劑使用時(shí)按比例稀釋成工作液后,加熱至50-60度,恒溫浸泡5-10分鐘,或超聲波清洗2-3分鐘。對于重污垢工件,延長清洗時(shí)間或使用多槽多次方式徹底清洗干凈。

在使用時(shí)要注意的是:1.定期檢查槽液溫度、液位,及時(shí)補(bǔ)水及相應(yīng)比例補(bǔ)加原液。2、按規(guī)定時(shí)間定期更換槽液。

希爾硅片清洗劑的優(yōu)點(diǎn):

1. 清洗效果好,不會(huì)產(chǎn)生清洗殘留

2. 對硅片材質(zhì)不會(huì)造成損傷

3. 本身化學(xué)性質(zhì)穩(wěn)定,無毒無害

4. 使用槽液易維護(hù)、易漂洗

以上就是一些有關(guān)硅片清洗劑的知識,希望能夠幫助大家更好的使用硅片清洗劑。

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